ISO 11670:2003標準全稱為《激光和激光相關(guān)設(shè)備 - 激光束參數(shù)測試方法 - 光束位置穩(wěn)定性》（Lasers and laser-related equipment — Test methods for laser beam parameters — Beam positional stability）。該標準規(guī)定了確定激光束位置和角度穩(wěn)定性的方法，旨在用于激光器的測試和表征。

主要測試項目

1、光束位置穩(wěn)定性（Beam positional stability）：

測試激光束在空間中的位置是否穩(wěn)定不變，這對于激光加工、激光切割、激光打標等應(yīng)用非常重要。

通過位置敏感探測器測量激光束質(zhì)心的位置變化，并計算其標準偏差。

2、光束指向穩(wěn)定性（Beam pointing stability）：

評估激光束的方向是否保持穩(wěn)定，這對于確保加工效果和質(zhì)量至關(guān)重要。

在聚焦元件的焦平面上測量激光束質(zhì)心的位置變化，并計算其標準偏差。

3、測試方法：

測量布置：確保激光束和測量系統(tǒng)的光軸同軸，光學(xué)系統(tǒng)的孔徑應(yīng)能夠容納整個激光束截面。

環(huán)境控制：測試平臺或支撐系統(tǒng)應(yīng)具有比被測激光更高的光機械穩(wěn)定性，避免外部或系統(tǒng)誤差。

探測系統(tǒng)：使用位置敏感探測器來確定激光束質(zhì)心的位置。

4、數(shù)據(jù)處理與評估：

從測量數(shù)據(jù)中計算光束位置穩(wěn)定性和光束指向穩(wěn)定性，通常使用均方根誤差（RMS）來表示。

適用范圍

該標準適用于需要評估激光束位置和角度穩(wěn)定性的各種激光器。